Potentiometrischer Sensor für reduzierende Gase auf Basis von Zeolithen
- Event
- 10. Dresdner Sensor-Symposium 2011
2011-12-05 - 2011-12-07
Dresden - Chapter
- Hochtemperatur-Sensoren II
- Author(s)
- I. Marr - Hagen, R. Moos - Bayreuth
- Pages
- 181 - 184
- DOI
- 10.5162/10dss2011/11.3
- ISBN
- 978-3942710-53-4
- Price
- free
Abstract
Die Materialklasse der Zeolithe findet seit einiger Zeit auch im Bereich der Gassensorik Anwendung. In dieser Arbeit wurden planare potentiometrische Gassensoren zur Detektion von Wasserstoff und Kohlenwasserstoffen ohne Reinraumprozesse in Dickschichttechnologie hergestellt. Zusätzlich wurde der Einfluss von Messtemperatur, Testgas, Dicke und Pt-Gehalt der Zeolithschicht und Dicke der sensitiven Cr2O3-Schicht, sowie die Ansprechzeit untersucht.