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Potentiometrischer CO2-Sensor in Dickschichttechnologie zur Atemgasanalyse

Event
10. Dresdner Sensor-Symposium 2011
2011-12-05 - 2011-12-07
Dresden
Chapter
Sensoren für die Medizin II
Author(s)
S. Wiegärtner, G. Hagen, J. Kita - Bayreuth, M. Seufert, E. Glaser, K. Grimmel - Erlangen, C. Schmaus, A. Kießig - Cadolzburg, A. Bolz - Erlangen, R. Moos - Bayreuth
Pages
343 - 346
DOI
10.5162/10dss2011/17.2
ISBN
978-3942710-53-4
Price
free

Abstract

In diesem Beitrag wird ein elektrochemischer Sensor des Typs CO2, O2, Au, Li2CO3-BaCO3 | Nasicon | Na2Ti6O13-TiO2, Au, O2, CO2, der in kostengünstiger Dickschichttechnik reproduzierbar hergestellt wird, beschrieben. Eine Miniaturisierung des Sensors und die Integration eines Heizelements auf der Rückseite des Sensors erlaubt es, diesen eigenständig bei der benötigten Betriebstemperatur von 525 °C zu betreiben.
Dabei hängt das Messsignals vom CO2-Partialdruck der zu messenden Umgebung ab und gehorcht der Nernst-Gleichung. Der Sensor kann zur Atemgasanalyse eingesetzt werden.

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