2.1.3 Aktorisches Miniaturspektrometer für die Gassensorik
- Event
- 20. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2019
2019-06-25 - 2019-06-26
Nürnberg, Germany - Chapter
- 2.1 Optische Messtechnik 2
- Author(s)
- M. Schädel, J. Baldauf, N. Thronicke, D. Mitrenga, D. Karolewski, H. Ortlepp, T. Ortlepp - CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt (Deutschland), A. Grewe, S. Sinzinger - Technische Universität Ilmenau (Deutschland)
- Pages
- 125 - 129
- DOI
- 10.5162/sensoren2019/2.1.3
- ISBN
- 978-3-9819376-0-2
- Price
- free
Abstract
Der Beitrag zeigt den bisherigen Zwischenstand der Entwicklung eines neuartigen MEMS-basierten Infrarot-Spektrometers für die Gassensorik. Dieses Spektrometer besteht aus diffraktiven optischen Elementen (DOE) mit einer gezielt hohen chromatischen Aberration, welche auf einer Aktormembran angeordnet sind, einem Blendensystem und Thermopilesensoren. Die DOE in Kombination mit den Blenden ermöglichen eine gezielte Auswahl des Spektralbereiches.
DOE-Design und Fertigung, sowie Membrandesign und Fertigung werden in diesem Beitrag detailliert erläutert.