| 20. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2019 |
2.2.1 Einfluss von DC- und AC-Versorgungsspannungen auf Dünnschicht- Drucksensoren aus ZrO2 |
M. Mathis - FITT gGmbH, Saarbrücken (Deutschland), G. Schultes, D. Vollberg - HTW des Saarlandes, Saarbrücken (Deutschland) |
| 20. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2019 |
2.2.2 Uncertainty evaluation of a traceable dynamic force transfer standard |
S. Hassan, C. Schlegel, R. Kumme - Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig (Deutschland), R. Tutsch - TU Braunschweig (Deutschland) |
| 20. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2019 |
2.2.3 Absolut messender Winkelsensor auf Basis optischer Interferometrie |
E. Oertel, V. Ullmann, E. Manske - Technische Universität Ilmenau (Deutschland) |
| 20. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2019 |
2.2.4 Hybridintegration von Mikrodehnungssensoren |
T. Frank, A. Grün, M. Kermann, A. Cyriax, A. Steinke, T. Ortlepp - Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt (Deutschland), G. Reschke - Technische Universität Dresden (Deutschland) |
