P7.19 - Gas-Diffusionsstudien in porösen In2O3 Monolithen
- Event
- 12. Dresdner Sensor-Symposium 2015
2015-12-07 - 2015-12-09
Hotel Elbflorenz, Dresden - Chapter
- P7. Neuartige Sensormaterialien und -technologien
- Author(s)
- D. Klawinski, D. Klaus, C. Weinberger, M. Tiemann, T. Wagner - Universität Paderborn/D, J. Smått - Åbo Akademi University,Turku/FIN
- Pages
- 288 - 290
- DOI
- 10.5162/12dss2015/P7.19
- ISBN
- 978-3-9813484-9-1
- Price
- free
Abstract
Poröse In2O3-Monolithe wurden als Dickschicht-Halbleitergassensoren mit Ozon als Prüfgas verwendet. Der Einfluss der Gasdiffusion auf das Sensorsignal der Monolithe konnte gemessen und durch ein vereinfachtes theoretisches Modell erklärt werden.