2.3.4 - 3D GMR Magnetfeld-Sensoren
- Event
- 18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016
2016-05-10 - 2016-05-11
Nürnberg, Germany - Chapter
- 2.3 Magnetische Sensoren I
- Author(s)
- R. Lehndorff, C. Glenske, T. Yin - Sensitec GmbH, Mainz (Deutschland)
- Pages
- 134 - 137
- DOI
- 10.5162/sensoren2016/2.3.4
- ISBN
- 978-3-9816876-0-6
- Price
- free
Abstract
Wir präsentieren hier die Funktionsweise und Optimierung von 3D Magnetfeld-Sensoren basierend auf dem GMR-Effekt. Die Optimierung erfolgte im Hinblick auf den erforderlichen Messbereich und wichtige Kenngrößen wie Hysterese und Signalrauschen. Zu diesem Zweck wurden einerseits Veränderungen am GMR Schichtsystem vorgenommen als auch die weichmagnetischen Flussführungen unter Zuhilfenahme von FEM Simulationen angepasst. Es konnten unter anderem die Messbereiche +-1,2mT und +-2,4mT erzielt, sowie das Signalrauschen auf weniger als 0,3 μT verbessert werden.