6.1.1 - Fasergekoppelter High-Speed-Sensor zum Messen optischer Funktionsflächen
- Event
- 18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016
2016-05-10 - 2016-05-11
Nürnberg, Germany - Chapter
- 6.1 Interferometrische Messverfahren
- Author(s)
- M. Schulz, P. Lehmann - Universität Kassel, Kassel (Deutschland)
- Pages
- 411 - 417
- DOI
- 10.5162/sensoren2016/6.1.1
- ISBN
- 978-3-9816876-0-6
- Price
- free
Abstract
Optische Funktionsflächen können mit dem hier beschriebenen Sensor hinsichtlich Form und Rauheit charakterisiert werden. Im Gegensatz zu bildgebenden Verfahren wird punktförmig gemessen und lateral gescannt. Das hat den Vorteil, dass auch sehr geringe Lichtintensitäten noch verarbeitet werden können. Die Messung basiert auf einem Interferenzsignal, das durch Modulation der optischen Weglänge im Referenzstrahlengang eines Interferometers erzeugt und bezüglich seiner Phasenlage analysiert wird. Die Messung ist weitgehend unabhängig vom Reflexionsvermögen der Oberfläche. Damit der Sensor konkurrenzfähig zu bildgebenden Verfahren sein kann, muss mit hoher Datenrate und großen Scangeschwindigkeiten gemessen werden. Dieser Beitrag thematisiert verschiedene optische Aspekte, die relevant für die praktische Umsetzung sind. Anhand von Messergebnissen wird das laterale Auflösungsvermögen des Sensors charakterisiert, und es kann auf das Verwertungspotenzial geschlossen werden.