P9.4 - Alternative Konzepte zur Integration und zum Auslesen von Drucksensoren
- Event
- 18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016
2016-05-10 - 2016-05-11
Nürnberg, Germany - Chapter
- P9 Mechanische und akustische Sensoren
- Author(s)
- R. Poloczek, C. Kontis, K. Kallis, H. Fiedler - Technische Universität Dortmund, Dortmund (Deutschland)
- Pages
- 797 - 804
- DOI
- 10.5162/sensoren2016/P9.4
- ISBN
- 978-3-9816876-0-6
- Price
- free
Abstract
Zur Realisierung von Drucksensoren ist die Wandlung der druckbedingten mechanischen Verformung einer Membran in ein elektrisches Signal unerlässlich. Im Rahmen des Artikels werden hierfür innovative Möglichkeiten zur monolithischen Integration in Silicon-on-Insulator, kurz SOI-Substrat aufgezeigt. Diese ermöglichen neben der Einsparung von Herstellungskosten die Senkung des Energieverbrauches. Die Wandlung der mechanischen Spannung in ein elektrisches Signal erfolgt mittels eines Transistors und nicht wie in konventionellen Lösungen durch beispielsweise die Verstimmung einer Wheatstone‘schen-Brückenschaltung oder eine Kapazitätsänderung. Zur weiteren Senkung der Kosten findet ebenfalls die Betrachtung von konventionellem Silizium Substrat statt, wobei der Fokus auf der Optimierung einer im Niedertemperaturverfahren abgeschiedenen amorphen Siliziumschicht liegt.