P3.01 - Funktionelle Glasmembranen für elektrochemische Sensoren in Dünnfilmtechnik
- Event
- 13. Dresdner Sensor-Symposium 2017
2017-12-04 - 2017-12-06
Hotel Elbflorenz, Dresden - Chapter
- P3. Sensortechnologien
- Author(s)
- F. Gerlach, K. Ahlborn - Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik e.V., Meinsberg, Waldheim/D, H. Iken, T. Bronder, M. Schöning - FH Aachen University of Applied Sciences, Jülich/D, W. Vonau - Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik e.V., Meinsberg, Waldheim/D
- Pages
- 236 - 241
- DOI
- 10.5162/13dss2017/P3.01
- ISBN
- 978-3-9816876-5-1
- Price
- free
Abstract
Ziel des Projektes ist die Entwicklung geeigneter Dünnfilmtechnologien zur Herstellung von neuartigen ionensensitiven und redoxsensitiven Strukturen auf der Basis silikatischer Gläser sowie deren Fertigung und Charakterisierung. In diesem Beitrag werden Vorteile, Möglichkeiten und Grenzen der Erzeugung von silikatischen Schichtstrukturen mittels der gepulsten Laserablation (PLD) [1,2] aufgezeigt.
Für die Charakterisierung der sensitiven Schichtstrukturen wurden verschiedene röntgenbasierte Verfahren, wie z.B. Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX), Röntgenfluoreszenzanalyse (μ-RFA) und Röntgendiffraktometrie (XRD) [3] herangezogen.