4.5 - Die Pulveraerosoldepositionsmethode - ein neues Verfahren zur Herstellung dichter Sensorschichten bei Raumtemperatur
- Event
- 15. Dresdner Sensor-Symposium 2021
2021-12-06 - 2021-12-08
Dresden - Band
- Vorträge
- Chapter
- 4. Umweltsensorik
- Author(s)
- R. Moos - Universität Bayreuth, Bayreuth/D
- Pages
- 72 - 74
- DOI
- 10.5162/15dss2021/4.5
- ISBN
- 978-3-9819376-5-7
- Price
- free
Abstract
Für Sensoren werden oft funktionskeramische Schichten benötigt. Da diese üblicherweise bei Sintertemperaturen über 1000 °C hergestellt werden, lassen sich kaum Keramiken mit niedrigschmelzenden Metallen, Gläsern oder Polymeren verbinden. Komplexere Funktionskeramiken lassen sich oft gar nicht erst herstellen, da sie sich zersetzen bevor sie verdichten.