6.3 - Neuartige Methode zur Veränderung der charakteristischen Sensoreigenschaften der WO3-Sensoren
- Event
- 15. Dresdner Sensor-Symposium 2021
2021-12-06 - 2021-12-08
Dresden - Band
- Vorträge
- Chapter
- 6. Neuartige Sensormaterialien und -technologien
- Author(s)
- U. Geyik, N. Barsan, U. Weimar - Eberhard Karls Universität Tübingen, Tübingen/D, H. Raza, N. Pinna - Humbold-Universität zu Berlin, Berlin/D
- Pages
- 101 - 104
- DOI
- 10.5162/15dss2021/6.3
- ISBN
- 978-3-9819376-5-7
- Price
- free
Abstract
Wolfram(VI)-oxid ist eines der am meisten verwendeten Metalloxide, die in kommerziellen Halbleiter- Metalloxid-Gassensoren (SMOx) zum Einsatz kommen. Damit die Beständigkeit der WO3 Sensoren nicht abnimmt, werden sie häufig mit Edelmetallen, wie zum Beispiel Platin, Rhodium oder Palladium beladen [1], [2]. Das hat zur Folge, dass sich die charakteristischen Sensoreigenschaften des WO3- Sensors signifikant ändern, da der Fermi-Level- Mechanismus nach der Beladung dominiert [3], [4]. Auch die Verteilung und Größe der Beladung ein einen Einfluss auf die Oberflächenchemie und Sensoreigenschaften. Die häufigste Methode, die zum Einsatz kommt, um die WO3-Sensoren zu beladen, ist die Sol-Gel-Imprägnierung. Eine Herausforderung bei dieser Methode ist die Realisierung einer gleichmäßigen Größe und Verteilung der Edelmetallbeladung. Im Gegensatz dazu bietet die Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) eine exzellente Kontrolle der zuvor genannten Parameter auf atomarer Ebene [5]. Aufgrund dessen ist eine systematische Untersuchung von mit ALD beladenen Sensoren erforderlich. In diesem Beitrag wurde Platin als Edelmetall zur Beladung verwendet.