Integrierte Mikrosysteme für die Gas- und Flüssigkeitsanalytik
- Event
- 10. Dresdner Sensor-Symposium 2011
2011-12-05 - 2011-12-07
Dresden - Chapter
- Miniaturisierte analytische Verfahren I
- Author(s)
- J. Müller - Hamburg-Harburg
- Pages
- 33 - 40
- DOI
- 10.5162/10dss2011/2.1
- ISBN
- 978-3942710-53-4
- Price
- free
Abstract
Komplexe physikalische Analysesysteme lassen sich mit Hilfe der Mikrosystemtechnik reproduzierbar und preisgünstig miniaturisieren, ohne dass darunter die Systemeigenschaften gegenüber makroskopischen Systemen maßgeblich eingeschränkt werden. Allerdings erfordern sie i.a. die Nutzung alternativer physikalischer Prinzipien in der Analytik und auch der Elektronik in Hard- und Software. Als Beispiele für Mikroanalysesysteme werden der Gaschromatograph, das Massenspektrometer, der Flammenionisationsdetektor und der paramagnetische Sauerstoffsensor sowie periphere integrierbare Subsysteme wie Pumpen und Druckminderer vorgestellt.