P29 - Weitere Untersuchung von Nb2O5-EIS-Strukturen zur pH-Messung
- Event
- 17. Dresdner Sensor-Symposium 2024
2024-11-25 - 2024-11-27
Dresden - Band
- Poster
- Chapter
- 8. Neuartige Sensormaterialien und-technologien
- Author(s)
- M. Wambold, C. Beale, L. Kühne, F. Al-Falahi, E. Kurth, O. Hild - Fraunhofer IPMS, Dresden/D
- Pages
- 177 - 180
- DOI
- 10.5162/17dss2024/P29
- ISBN
- 978-3-910600-04-1
- Price
- free
Abstract
Ionensensitive Feldeffekttransistoren (ISFET) werden seit langem für die pH-Messung eingesetzt [1]. In kommerziellen Produkten, wie beispielsweise dem CPS47D von Endress+Hauser, wird als Sensorschicht zumeist Ta2O5 verwendet [2]. Die Verfügbarkeit von Tantal ist stark begrenzt, und es ist zudem als Konfliktmaterial eingestuft [3].