P29 - Weitere Untersuchung von Nb2O5-EIS-Strukturen zur pH-Messung

Event

17. Dresdner Sensor-Symposium 2024
2024-11-25 - 2024-11-27
Dresden

Band

Poster

Chapter

8. Neuartige Sensormaterialien und-technologien

Author(s)

M. Wambold, C. Beale, L. Kühne, F. Al-Falahi, E. Kurth, O. Hild - Fraunhofer IPMS,Dresden/D

Pages

179 - 182

DOI

10.5162/17dss2024/P29

ISBN

978-3-910600-04-1

Price

free

Abstract

Ionensensitive Feldeffekttransistoren (ISFET) werden seit langem für die pH-Messung eingesetzt [1]. In kommerziellen Produkten, wie beispielsweise dem CPS47D von Endress+Hauser, wird als Sensorschicht zumeist Ta2O5 verwendet [2]. Die Verfügbarkeit von Tantal ist stark begrenzt, und es ist zudem als Konfliktmaterial eingestuft [3].