P5.1 - Miniaturisierter durchstimmbarer optischer μ-Flussratensensor
- Event
- 12. Dresdner Sensor-Symposium 2015
2015-12-07 - 2015-12-09
Hotel Elbflorenz, Dresden - Chapter
- P5. Mikrofluidische und nanostrukturierte Sensoren
- Author(s)
- C. Höra, M. Skadell, S. Pfeiffer, M. Pahl, D. Belder - Universität Leipzig/D, Z. Shu, E. Beckert - Fraunhofer IOF, Jena/D
- Pages
- 179 - 184
- DOI
- 10.5162/12dss2015/P5.1
- ISBN
- 978-3-9813484-9-1
- Price
- free
Abstract
In dieser Arbeit präsentieren wir den ersten auf einer lumineszierenden Sensorschicht basierenden und damit optisch auslesbaren mikrofluidischen kalorimetrischen Flussratensensor. Mit Hilfe dieser integrierten Schicht kann die Temperatur unabhängig von diskreten Sensorpunkten im gesamten Kanal evaluiert werden, was enorme Vorteile für die Sensitivität des Sensors bei verschiedenen Flussraten hat. Der Wärmeeintrag wird über ein auf PET gedrucktes Heizelement realisiert, welches ebenfalls in den Chip integriert wurde. Das System wurde hinsichtlich der Reproduzierbarkeit des Messsignals gründlichcharakterisiert. Sensitivitätsuntersuchungen zeigten, dass mit dem präsentierten mikrofluidischen Anemometer Flüsse im unteren nl·min-1-Bereich bis einige 100 μl·min-1 detektiert werden konnten. Der größte Vorteil des Systems ist dessen Durchstimmbarkeit. So sind Auslesepositionen nahe des Heizelementes beim Messen sehr kleiner Flussraten begünstigt, wohingegen beim Messen größerer Flussraten tendenziell weitere Entfernungen der Temperaturmessbereiche zum Heizer von Vorteil sind.