P5.2 - Integrierter Strömungssensor zur Messung geringster Gasgeschwindigkeiten
- Event
- 12. Dresdner Sensor-Symposium 2015
2015-12-07 - 2015-12-09
Hotel Elbflorenz, Dresden - Chapter
- P5. Mikrofluidische und nanostrukturierte Sensoren
- Author(s)
- C. Lohrberg, H. Funke, S. Reuber, S. Ziesche - Fraunhofer IKTS, Dresden/D
- Pages
- 185 - 190
- DOI
- 10.5162/12dss2015/P5.2
- ISBN
- 978-3-9813484-9-1
- Price
- free
Abstract
Die Arbeit stellt einen Strömungssensor mit einem integrierten Kanal vor, in dem sich ein freitragender auf Dickschichttechnologie basierter Heizer befindet. Der Sensor wurde in der LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) Technologie entwickelt. Um die Sensitivität zu erhöhen und die thermischen Verluste zu verringern, wurden mithilfe von kohlenstoffbasierten Opferschichten Heizer realisiert, die eine minimale Dicke von unter 50 μm besitzen. Zudem wurde eine angepasste Regelungselektronik entwickelt, um den Sensor vermessen und kalibrieren zu können.