2.2.4 Hybridintegration von Mikrodehnungssensoren
- Event
- 20. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2019
2019-06-25 - 2019-06-26
Nürnberg, Germany - Chapter
- 2.2 Mechanische Sensoren 2
- Author(s)
- T. Frank, A. Grün, M. Kermann, A. Cyriax, A. Steinke, T. Ortlepp - Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt (Deutschland), G. Reschke - Technische Universität Dresden (Deutschland)
- Pages
- 153 - 158
- DOI
- 10.5162/sensoren2019/2.2.4
- ISBN
- 978-3-9819376-0-2
- Price
- free
Abstract
Silizium-Dehnungsmesssensoren oder Siliziumdehnmessstreifen (Si-DMS) substituieren in einige Anwenundgen, insbesondere im Bereich Druckmesstechnik, die piezoresistiven Dünnschicht- und die Dickschichtwiderstände. Der höhere Koppelfaktor und die deutlich höhere Langzeitstabilität machen diese Sensoren zunehmend interessant für weitere Anwendungen. Besonders hohe Anforderungen an die Montage bereitet die zunehmende geometrische Größe der Prüfkörper. Die Prozesse, wie sie für kleine Prüfkörper üblich sind, z.B. Glasfritt- und Drahtbonden, stoßen schnell an ihre Grenzen. Thermische Prozesse sind aufgrund der Masse des Prüfkörpers unwirtschaftlich oder nicht gewünscht. Die Drahtbondprozesse an den großen Prüfkörpern sind sehr aufwendig und sollen vermieden werden. Die Prüfkörper sind lange Rohre, Druckbehälter, Maschinenschrauben oder Federkörper für Kraftsensoren. Für die Anwendung sollen sollen die Sensoren direkt montiert und so hybrid integriert werden. Der Beitrag beschreibt verschiedene Strategien zum Aufbau makroskopischer Prüfkörper mit hybrid integrierten Siliziumdehnmessstreifen.