3.3.2 Sensitivität und Selektivität optischer und neuartiger MEMS-Wasserstoffsensoren
- Event
- 20. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2019
2019-06-25 - 2019-06-26
Nürnberg, Germany - Chapter
- 3.3 Sensoren für eine moderne Wasserstoffwirtschaft
- Author(s)
- M. Wienecke - Hochschule Wismar (Deutschland), L. Godenrath, B. Zacharias - Materion GmbH, Wismar (Deutschland)
- Pages
- 256 - 263
- DOI
- 10.5162/sensoren2019/3.3.2
- ISBN
- 978-3-9819376-0-2
- Price
- free
Abstract
In diesem Beitrag werden die Potenziale von optisch schaltenden Pd-Dünnfilmsensoren (POS) untersucht sowie neuartige mikro-elektro-mechanischen Systeme (MEMS), die die Volumenänderung bei der Hydrierung des Pd ausnutzen. Beide Systeme können Wasserstoffkonzentrationen von 0,1 bis 100 vol % sicher und reproduzierbar nachweisen. Das physikalische Schalten von Pd bei der Einlagerung von Wasserstoff ist frei von Querempfindlichkeiten. Die Ansprechzeiten betragen unter 30 s (optischer Sensor) bzw. 5 s (MEMS-Sensor). Mit Pd-basierten MEMS-Sensoren können minimale Nachweisgrenzen von 100 ppm erreicht werden. Es werden mögliche Einsatzgebiete dieser Sensoren diskutiert.