P2.12 Tastsystem zur Bestimmung der instrumentierten Eindringhärte
- Event
- 20. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2019
2019-06-25 - 2019-06-26
Nürnberg, Germany - Chapter
- P2: Messsysteme
- Author(s)
- T. Frank, C. Maier, M. Kermann, A. Grün, A. Cyriax, J. Patel, T. Ortlepp - Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, Erfurt (Deutschland)
- Pages
- 726 - 729
- DOI
- 10.5162/sensoren2019/P2.12
- ISBN
- 978-3-9819376-0-2
- Price
- free
Abstract
Die mechanische Charakterisierung dünner Schichten ist für viele Anwendungen wichtig. Zur Bestimmung der Härte stehen verschiedene Verfahren zur Verfügung. Im vorliegenden Beitrag wird die Nanoindentierung beschrieben, auch instrumentierter Eindringversuch genannt. Der Eindringkörper ist eine Diamantspitze mit bekannter Geometrie, welche in die zu prüfende Oberfläche hineingedrückt wird. Aus der kontinuierlich gemessenen Kraft in Abhängigkeit vom Eindringweg können die Größen: Härte und reduziertes Elastizitätsmodul bestimmt werden. Beschrieben wird eine neue Sensoranordnung. Zwei übereinander liegende Weg-Kraftsensoren nehmen die Kennlinie auf. Dadurch, dass beide Messstrecken und die Messkraft auf einer Linie liegen, genügt die Anordnung dem „Abbeschen Komparatorprinzip“. Als Sensor wird ein siliziumbasierter 3D-Kraftsensor mit 4 Messbrücken verwendet.