P1.15 Mittels aerosolbasierter Kaltabscheidung bei Raumtemperatur hergestellte schichtförmige NTC-Thermistorbauelemente
- Event
- 20. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2019
2019-06-25 - 2019-06-26
Nürnberg, Germany - Chapter
- P1: Sensoren
- Author(s)
- R. Moos, M. Schubert, C. Reichl, J. Kita - Universität Bayreuth (Deutschland), C. Münch - Vishay Electronic GmbH, Selb (Deutschland)
- Pages
- 617 - 620
- DOI
- 10.5162/sensoren2019/P1.15
- ISBN
- 978-3-9819376-0-2
- Price
- free
Abstract
In der vorliegenden Arbeit konnte gezeigt werden, dass eine aerosolbasierte Kaltabscheidung eines produktionsnahen NTCR-Keramikpulvers zu mechanisch stabilen Schichten möglich ist. Die Schichten zeichnen sich durch eine dichte nanokristalline Schichtstruktur und eine sehr gute Substratanbindung aus. Im ersten Versuchsteil konnte sowohl auf Edelstahl- als auch auf Al2O3-Substraten ein linearer Zusammenhang zwischen der erzielten Schichtdicke der aerosolkaltabgeschiedenen NTCR-Schicht und der Anzahl an Überfahrtsschleifen nachgewiesen werden. Basierend auf diesen Erkenntnissen wurden im zweiten Versuchsteil chipbasierte NTCR-Bauteile der Baugröße 1206 mit 10 und 20 Überfahrtsschleifen hergestellt. Die aerosolbasierte Kaltabscheidung des produktionsnahen Keramikpulvers erfolgte hierzu auf ein mit Sollbruchkanten und siebgedruckten Au-Interdigitalelektrodenstrukturen versehenes Al2O3-Substrat. Die Bauteile zeigen reproduzierbar die typische Charakteristik von konventionell gesinterten NTCR-Volumenkeramiken. Auch konnte der Nachweis erbracht werden, dass durch die Variation der Anzahl an Überfahrtsschleifen die Schichtdicke der aerosolkaltabgeschiedenen NTCR-Schicht und damit deren elektrische Widerstand gezielt eingestellt werden kann. Die charakteristische B-Konstante ändert sich dabei nicht.