P2.11 - Miniaturisierter amperometrischer Sauerstoffsensor in Dickschichttechnologie
- Event
- 14. Dresdner Sensor-Symposium 2019
2019-12-02 - 2019-12-04
Dresden - Chapter
- P2. Technologien
- Author(s)
- C. Eckart, S. Dietrich, M. Kusnezoff - Fraunhofer IKTS, Dresden/D
- Pages
- 201 - 204
- DOI
- 10.5162/14dss2019/P2.11
- ISBN
- 978-3-9819376-1-9
- Price
- free
Abstract
Sauerstoffsensoren sind ein essentieller Bestandteil bei der Überwachung von Verbrennungsprozessen in mobilen und industriellen Anwendungen. Oft werden hierfür potentiometrische Sauerstoffsensoren eingesetzt, welche jedoch aufgrund der logarithmischen Abhängigkeit des Sensorsignals vom Sauerstoffpartialdruck nur in vergleichsweise kleinen Konzentrationsbereichen eine hohe Empfindlichkeit aufweisen. Soll ein Messbereich mit hoher Sauerstoffkonzentration überwacht werden, eignen sich amperometrische Grenzstrom-Sauerstoffsensoren, da ihre lineare Signalabhängigkeit erlaubt, ein breites Spektrum an Sauerstoffkonzentrationen mit ausreichend hoher Genauigkeit abzudecken. Zu den weiteren Vorteilen des amperometrischen Messprinzips gegenüber dem potentiometrischen zählt, dass kein Referenzgas benötigt wird. Dadurch gestalten sich Fertigung und Integration des Sensors deutlich einfacher. Die Messwerte können außerdem mit den vergleichsweise einfach zu berechnenden theoretischen Kennwerten verglichen werden, wodurch eine schnelle und simple Kalibrierung möglich ist.