D2.4 - Multichannel CMUT Evaluation Kit

Event
22. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2024
2024-06-11 - 2024-06-12
Nürnberg
Band
Vorträge
Chapter
D2 - Mikromechanische Ultraschallwandler (MUT)
Author(s)
U. Völz, B. Betz, S. Koch - Fraunhofer IPMS,Dresden
Pages
325 - 328
DOI
10.5162/sensoren2024/D2.4
ISBN
978-3-910600-01-0
Price
free

Abstract

Das Fraunhofer IPMS hat ein innovatives Verfahren zur Herstellung von kapazitiven mikromechanischen Ultraschallwandlern (CMUT) entwickelt. Dieser Prozess ermöglicht die Lieferung von Kleinserien und Pilotfertigungen von CMUTs sowie die Entwicklung von kundenspezifischen Sensorgeräten. Zur Erleichterung des Testens und der Verifizierung von CMUTs stellt das Fraunhofer IPMS ein fortschrittliches Mehrkanal-Evaluierungskit bereit. Das Mehrkanal-Evaluierungskit ist eine kostengünstige Alternative zu teuren Labor-Ultraschallmessgeräten. Es treibt nicht nur CMUTs, sondern auch piezoelektrische Wandler an und ist damit für verschiedene Anwendungen einsetzbar. Das Kit unterstützt Messaufbauten und Demonstrationsgeräte sowohl für Einzelelement-Prüfköpfe als auch für Mehrkanal-Prüfköpfe, einschließlich Darstellungsmethoden mit Phased Arrays. Das Evaluierungskit hat eine kompakte Bauform und wird von einer vollständig eigenentwickelten Hardund Software unterstützt. Dadurch sind eine nahtlose Integration und anpassbare Konfigurationen gewährleistet, um spezifische Anforderungen zu erfüllen. Das Kit nutzt die Red Pitaya Hardware- Plattform, die für ihre Kosteneffizienz und Vielseitigkeit bei der Steuerung des analogen Front-Ends bekannt ist. Obwohl der kleine Formfaktor die maximale Ausgangsleistung auf gepulste Sendersignale beschränkt, kann das Kit externe Leistungsverstärker ansteuern. Es kann auch ein externer Bias-Tee für CMUT-Anwendungen mit hoher Leistung verwendet werden.

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