| 22. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2024 |
C3.2 - Piezoelektrische MEMS-Mikrofone mit Regelung durch Kraftrückkopplung |
T. Friebe, G. Schrag - Technische Universität München,München, G. Bosetti, C. Bretthauer - Infineon Technologies AG,Neubiberg |
| 22. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2024 |
C3.3 - Miniaturisierter resonanter Wägesensor für die Simultane Thermische Analyse (STA) |
J. Baumgärtner, R. Moos, J. Kita - Universität Bayreuth,Bayreuth |
| 22. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2024 |
C3.4 - Batch-Fabrikation und Schwingungscharakterisierung ko-resonant gekoppelter Cantilever-Systeme für Sensoranwendungen |
I. Lampouras, J. Körner - Leibniz University Hannover,Hannover |