6.2 - Piezoelektrische, mikromechanische Ultraschallwandler mit adaptiver akustischer Kanalgeometrie und Chipgröße

Event

17. Dresdner Sensor-Symposium 2024
2024-11-25 - 2024-11-27
Dresden

Band

Vortrag

Chapter

6. Innovative Sensorlösungen

Author(s)

C. Stoeckel, S. Mulay, K. Meinel, J. Seiler, D. Ullmann, D. Reuter - Fraunhofer ENAS, Chemnitz/D

Pages

60 - 63

DOI

10.5162/17dss2024/6.2

ISBN

978-3-910600-04-1

Price

free

Abstract

Die Autoren zeigen miniaturisierte, piezoelektrische Ultraschallwandler, entwickelt mit einer patentierten Herstellungstechnologie für adaptive akustische Kanalgeometrien und Chipgrößen [1].