6.2 - Piezoelektrische, mikromechanische Ultraschallwandler mit adaptiver akustischer Kanalgeometrie und Chipgröße
- Event
- 17. Dresdner Sensor-Symposium 2024
2024-11-25 - 2024-11-27
Dresden - Band
- Vortrag
- Chapter
- 6. Innovative Sensorlösungen
- Author(s)
- C. Stoeckel, S. Mulay, K. Meinel, J. Seiler, D. Ullmann, D. Reuter - Fraunhofer ENAS, Chemnitz/D
- Pages
- 60 - 63
- DOI
- 10.5162/17dss2024/6.2
- ISBN
- 978-3-910600-04-1
- Price
- free
Abstract
Die Autoren zeigen miniaturisierte, piezoelektrische Ultraschallwandler, entwickelt mit einer patentierten Herstellungstechnologie für adaptive akustische Kanalgeometrien und Chipgrößen [1].