4.3.4 Nanomess- und Nanopositioniergeräte für die nanometergenaue Positionierung und Messung von Oberflächen und Strukturen
- Event
- 16. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2012
2012-05-22 - 2012-05-23
Nürnberg, Germany - Chapter
- 4.3 Optische 3D- / Oberflächenmesstechnik
- Author(s)
- E. Manske, G. Jäger, R. Füßl, F. Balzer, H. Baitinger - Technische Universität Ilmenau
- Pages
- 490 - 498
- DOI
- 10.5162/sensoren2012/4.3.4
- ISBN
- 978-3-9813484-0-8
- Price
- free
Abstract
Nanomess- und Nanopositioniergeräte sind für die nanometergenaue Positionierung und Messung z.B. von Oberflächen und Strukturen, von mechanischen und optischen Präzisionsteilen sowie für die Materialanalyse erforderlich. Die Notwendigkeit, immer kleinere Objekte in immer größeren Raumbereichen zu beherrschen, ergibt sich durch den anhaltenden Fortschritt der Mikro- und Nanotechnologien, insbesondere der Halbleiterindustrie, der Ultrapräzisionsbearbeitung und vieler damit verbundener Technologien. Um die immer größere Breite und Komplexität an Messaufgaben in der Mikro- und Nanotechnologie erfüllen zu können, ist ein Multisensoransatz auch für Nanopositionier- und Nanomessmaschinen sinnvoll. Neben einer ganzen Reihe von optischen, taktilen und Rasterkraftsensoren werden erste Untersuchungen zu Nanotools für die Nanobearbeitung von Oberflächen mit den Möglichkeiten der Nanopositionier- und Nanomessmaschinen vorgestellt.
Abstract
Nanomeasuring and nanopositioning devices are necessary for positioning and measuring surfaces and structures, mechanical and optical precision parts with nanometre precision.
The ability of measuring ever smaller objects in ever larger spatial areas is motivated by the permanent progress of micro- and nanotechnologies, especially of semiconductor industries, ultra-precision technologies and many other associated technologies. To meet the increasing demands concerning the ever greater complexity and variety of the measurement tasks in micro- and nanotechnologies it is reasonable to implement a multisensory approach also in nanopositioning and nanomeasuring machines.
Besides a set of optical, tactile and scanning force probes some first investigations regarding the nanofabrication of surfaces by means of nanopositioning and nanomeasuring machines are presented.