5.3.3 Untersuchungen zur Abschätzung von Messunsicherheiten mit dem virtuellen Rasterelektronenmikroskop vREM
- Event
- 16. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2012
2012-05-22 - 2012-05-23
Nürnberg, Germany - Chapter
- 5.3 Messunsicherheit
- Author(s)
- D. Gnieser, R. Tutsch - Technische Universität Braunschweig, C. Frase, K. Johnsen, H. Bosse - Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig
- Pages
- 570 - 576
- DOI
- 10.5162/sensoren2012/5.3.3
- ISBN
- 978-3-9813484-0-8
- Price
- free
Abstract
Der aktuelle Status des virtuelles Rasterelektronenmikroskop vREM, ein Programm entwickelt in Zusammenarbeit des Instituts für Produktionsmesstechnik (IPROM) der technischen Universität Braunschweig mit der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) wird vorgestellt. Das Programm hat zum Ziel, den gesamten Messvorgang eines Rasterelektronenmikroskops zu simulieren, und die auftretenden Messunsicherheiten zu bestimmen.
Der Aufbau und die Funktionsweise des Programms werden dargestellt: Die Module Elektronenquelle, Elektronenoptik, Rastergenerator, Probengeometrie und Wechselwirkung, Detektion und Bildgenerierung sowie Auswertung werden erläutert, die maßgeblichen Parameter und deren Wirkungsweise vorgestellt.