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11. Dresdner Sensor-Symposium 2013	D1 - Integrationspotential siliziumbasierter Sensoren mittels technologischer Plattformen und Module	A. Steinke, D. Preuß, M. Hintz, O. Brodersen, S. Völlmeke - CIS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, Erfurt/D