1.3 - Stickoxidsensor aus einem einzelnen Indium-Zinnoxid (ITO) Nanodraht
- Event
- 11. Dresdner Sensor-Symposium 2013
2013-12-09 - 2013-12-11
Dreikönigskirche - Haus der Kirche Dresden - Chapter
- Abgas-Sensorik
- Author(s)
- T. Sauerwald, M. Afshar, M. Rodner, E. Preiß, D. Feili, H. Seidel, A. Schütze - Universität des Saarlandes, Saarbrücken/D
- Pages
- 18 - 21
- DOI
- 10.5162/11dss2013/1.3
- ISBN
- 978-3-9813484-5-3
- Price
- free
Abstract
Die Eignung eines Indium-Zinnoxid (ITO) Nanodrahts als Gassensor wird untersucht. Zur gezielten Strukturierung von Drähten mit Breiten von 450-650 nm, mit einer Dicke von 100 nm und Längen von 80-90 μm wird ein laserunterstütztes Lithographieverfahren verwendet. Der ITO-Draht wird mit zwei Goldelektroden (lithographisch strukturiert) kontaktiert, die sowohl zur Heizung als auch zur Auslesung des Leitwertes dienen. Der ITO-Draht verhält sich wie erwartet als n-Typ Halbleiter-Gassensor und zeigt eine signifikante Abnahme des Leitwerts im untersuchten Konzentrationsbereich von 2,5-50 ppm NO2. Die Querempfindlichkeit des Sensors auf CO im Konzentrationsbereich von 10-2000 ppm bleibt außerhalb der Nachweisschwelle.