B2 - Neuartiges Sensorprinzip für mikrostrukturierte Gassensoren
- Event
- 11. Dresdner Sensor-Symposium 2013
2013-12-09 - 2013-12-11
Dreikönigskirche - Haus der Kirche Dresden - Chapter
- 2. Gas- und Partikelsensorik
- Author(s)
- M. Schreivogel, D. Kunz, R. Rosenberger - Robert Bosch GmbH, Stuttgart/D, W. Menesklou, E. Ivers- Tiffée - Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Karlsruhe/D
- Pages
- 210 - 213
- DOI
- 10.5162/11dss2013/B2
- ISBN
- 978-3-9813484-5-3
- Price
- free
Abstract
Ein neuartiger mikrostrukturierter Gassensor, der auf der Polarisierbarkeit dünner Schichten basiert wird vorgestellt. Die Metall-Isolator-Metall (MIM) Struktur ist extrem einfach aufgebaut, aber trotzdem sensitiv auf weniger als 3 ppm Wasserstoff. Das zu Grunde liegende Funktionsprinzip ist durch die Wahl geeigneter Elektroden auf andere Gase übertragbar. Der Grund für die gasinduzierte Impedanzänderung der Strukturen ist die spannungsabhängige Permittivität der verwendeten Dünnschichten. Gasspezies, die an der Elektroden-Dielektrikum-Grenzfläche adsorbieren, führen zu einer Austrittsarbeitsänderung bzw. einem Spannungsoffset und somit einer Änderung der gemessenen Kapazität bzw. Impedanz.