B3 - Hochsensitiver Strömungssensor in LTCC
- Event
- 11. Dresdner Sensor-Symposium 2013
2013-12-09 - 2013-12-11
Dreikönigskirche - Haus der Kirche Dresden - Chapter
- 2. Gas- und Partikelsensorik
- Author(s)
- C. Lohrberg, S. Ziesche - Fraunhofer IKTS, Dresden/D, H. Neubert - TU Dresden/D
- Pages
- 214 - 218
- DOI
- 10.5162/11dss2013/B3
- ISBN
- 978-3-9813484-5-3
- Price
- free
Abstract
Die Arbeit stellt einen thermischen Strömungssensor in LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) Technologie vor. Er ist mithilfe graphitbasierter Opferschichten als freitragende Dickschichtstruktur in einem integrierten Kanal realisiert. Durch die geringe Dicke von nur 50 μm werden hohe Sensitivität und geringe thermische Verluste erreicht. Dazu wurde eine LTCC-kompatible Opferschichttechnologie entwickelt und für die Fertigung riss- und verwölbungsfreier freitragender Strukturen optimiert. Eigens entwickelte strömungsmechanisch-thermische Modelle zur Berechnung des Temperaturfeldes im Kanal wurden zur Design- und Technologieoptimierung eingesetzt.