P36 - Untersuchung der dynamischen Energieverteilung in ko-resonant gekoppelten Cantilever-Sensoren
- Event
- 16. Dresdner Sensor-Symposium 2022
2022-12-05 - 2022-12-07
Dresden - Band
- Poster
- Chapter
- Miniaturisierte Sensorik und Messsysteme
- Author(s)
- N. Edeler, J. Körner - Leibniz Universität Hannover, Hannover/D, I. Lampouras - Technische Universität Ilmenau, Ilmenau/D
- Pages
- 189 - 192
- DOI
- 10.5162/16dss2022/P36
- ISBN
- 978-3-9819376-7-1
- Price
- free
Abstract
Dynamische Cantilever-Sensoren werden in vielen verschiedenen Bereichen als sensitive Massen- oder Kraftsensoren eingesetzt, z.B. in der Materialcharakterisierung mittels Rastersonden-Methoden oder in der Gassensorik [1,2]. Ein Hauptanliegen ist dabei die Steigerung der Empfindlichkeit bei gleichzeitig zuverlässiger Anregung und Detektion des Schwingungszustandes. Hierfür wurde in den letzten Jahren ein ko-resonanter Ansatz entwickelt, mit dem in verschiedenen experimentellen Arbeiten eine Steigerung des Messsignals um mehrere Größenordnungen gezeigt werden konnte.