B4.3 - Kalibrierung und Justage von durchstimmbaren IR-Detektoren mit Hilfe von Festkörperetalons
- Event
- 22. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2024
2024-06-11 - 2024-06-12
Nürnberg - Band
- Vorträge
- Chapter
- B4 - IRS2 Teil II
- Author(s)
- M. Wetterer, M. Ebermann - InfraTec GmbH,Dresden, J. Lienig - Technische Universität Dresden,Dresden
- Pages
- 184 - 191
- DOI
- 10.5162/sensoren2024/B4.3
- ISBN
- 978-3-910600-01-0
- Price
- free
Abstract
Durchstimmbare Infrarot-Detektoren, die auf dem Fabry-Pérot-Interferometer basieren, können für präzise spektrale Analysen genutzt werden. Allerdings unterliegen sie vielfältigen technologischen und anwendungsbedingten Herausforderungen. Um die Qualitäts- und Ausbeuteanforderungen in der Produktion solcher Detektoren zu erfüllen, ist eine präzise Kalibrierung und Justage jedes einzelnen Detektors innerhalb des spezifizierten Temperaturbereichs erforderlich. Die bisherige Methode der spektralen Empfindlichkeitsmessung mittels Fourier-Transform-Infrarotspektrometer ist in der Musterund Kleinserienfertigung praktikabel. Dem Einsatz des Verfahrens in der Volumenfertigung stehen jedoch der hohe Platzbedarf, die hohen Investitionen für Maschinen sowie die hohen laufenden Betriebskosten entgegen. Es wird daher ein alternatives Verfahren benötigt, welches auf der gleichen Produktionsfläche bei sinkenden Herstellkosten größere Stückzahlen kalibrieren und justieren kann. Das in dieser Arbeit vorgestellte Verfahren adressiert die genannten Herausforderungen, indem es Festkörperetalons als Kalibriernormale verwendet. Der Einsatz eines elektromechanischen Modells des Fabry-Pérot-Interferometers ermöglicht einen präzisen Abgleich mit einem Etalon-Referenzspektrum, um die identifizierten Einflussfaktoren auszugleichen.