B4.4 - Optimierung dünner Quarzresonatoren zur Anwendung in thermischen Infrarotsensoren
- Event
- 22. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2024
2024-06-11 - 2024-06-12
Nürnberg - Band
- Vorträge
- Chapter
- B4 - IRS2 Teil II
- Author(s)
- A. Eydam, V. Norkus, G. Gerlach - Technische Universität Dresden,Dresden
- Pages
- 192 - 196
- DOI
- 10.5162/sensoren2024/B4.4
- ISBN
- 978-3-910600-01-0
- Price
- free
Abstract
In dieser Arbeit wird die Herstellung von ultradünnen Quarzresonatoren mit einer Dicke von 5 μm mit verschiedenen Sensorlayouts beschrieben. Die Temperaturabhängigkeit ihrer Resonanzfrequenz soll für thermische Infrarotsensoren genutzt werden. Das Schwingungsverhalten wird durch Impedanzmessungen untersucht und mittels FEM wird eine gekoppelte elektromechanische Simulation durchgeführt. Das Layout soll für eine Hauptresonanz mit hoher Schwingungsamplitude optimiert werden, wobei keine Nebenresonanzen auftreten sollen.