C3.2 - Piezoelektrische MEMS-Mikrofone mit Regelung durch Kraftrückkopplung
- Event
- 22. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2024
2024-06-11 - 2024-06-12
Nürnberg - Band
- Vorträge
- Chapter
- C3 - Mikrosensorik
- Author(s)
- T. Friebe, G. Schrag - Technische Universität München,München, G. Bosetti, C. Bretthauer - Infineon Technologies AG,Neubiberg
- Pages
- 236 - 240
- DOI
- 10.5162/sensoren2024/C3.2
- ISBN
- 978-3-910600-01-0
- Price
- free
Abstract
Wir präsentieren das Design und eine erste experimentelle Validierung eines durch Kraftrückkoppelung geregelten piezoelektrischen MEMS-Mikrofons mit dem Ziel, die Sensorlinearität zu erhöhen, eine flache Frequenzantwort zu ermöglichen und Systemresonanzen zu dämpfen. Das MEMS-Konzept beruht auf einer allseitig eingespannten, gewellten Aluminiumnitridmembran. Das Design und die Auswertung der wichtigsten Sensorparameter wurden mithilfe von gekoppelten Finite-Elemente- Simulationen durchgeführt und die Messungen erster Prototypen mit Hilfe eines Laser-Doppler- Vibrometers bestätigen, dass die kraftrückgekoppelte Regelung des MEMS-Mikrofons möglich ist.