C3.4 - Batch-Fabrikation und Schwingungscharakterisierung ko-resonant gekoppelter Cantilever-Systeme für Sensoranwendungen
- Event
- 22. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2024
2024-06-11 - 2024-06-12
Nürnberg - Band
- Vorträge
- Chapter
- C3 - Mikrosensorik
- Author(s)
- I. Lampouras, J. Körner - Leibniz University Hannover,Hannover
- Pages
- 244 - 247
- DOI
- 10.5162/sensoren2024/C3.4
- ISBN
- 978-3-910600-01-0
- Price
- free
Abstract
In diesem Beitrag wird ein Herstellungsprozess für ko-resonant gekoppelte Cantilever-Sensoren vorgestellt. Das Funktionsprinzip derartiger Sensoren beruht auf der mechanischen Kopplung in Kombination mit der Eigenfrequenzanpassung beider Schwinger, womit eine sehr hohe Messempfindlichkeit für die Detektion kleinster Massen und Kräfte erreicht werden kann. Die nötigen Voraussetzungen zur Einstellung eines ko-resonanten Zustandes stellen hohe Anforderungen an die Präzision und Kontrolle eines möglichen Herstellungsprozesses. Hier wird ein neu entwickelter Batch-Prozess vorgestellt, mit dem es erstmals möglich wird, ko-resonant gekoppelte Strukturen mit vordefinierten Parametern und Eigenschaften auf Basis von Silizium-Nitrid reproduzierbar durch Mikrofabrikation herzustellen. Sowohl bei der statischen (Abmessungen) als auch der dynamischen Charakterisierung (Schwingungsverhalten) zeigen die erzeugten Strukturen die gewünschten Eigenschaften.