Mikrooptischer Sensor für die Volumenstrommessung in Kapillaren
- Event
- 10. Dresdner Sensor-Symposium 2011
2011-12-05 - 2011-12-07
Dresden - Chapter
- Innovative Sensorlösungen II
- Author(s)
- R. Müller, A. Steinke - Erfurt
- Pages
- 211 - 214
- DOI
- 10.5162/10dss2011/12.4
- ISBN
- 978-3942710-53-4
- Price
- free
Abstract
In elektrochemischen Anlagen für die Erzeugung von metallisierten Mikrostrukturen ist es wichtig, den konvektiven Stoffaustausch in diesen Mikrostrukturen (z. B. Bohrungen) zu kennen. In dieser Arbeit wird ein erstes Funktionsmuster eines „faserfreien“ integriert optischen Durchflussmesser auf Basis der Ortsfiltertechnik, der bei frei angeströmten Mikrostrukturen in prozesstechnischen Anlagen eingesetzt werden kann, vorgestellt. Grundlage für die Funktion ist das Vorhandensein von Tracerpartikeln. Es werden u. a. ein (Vertical Cavity Surface Emitting Laser {VCSEL}), eine 2 mm lange Kapillare (Innendurchmesser: 0,15 mm; Außendurchmesser: 5 mm) und ein spezieller Siliziumchip, der am CiS Forschungsinstitut hergestellt wird, eingesetzt. Für die Aufnahme von ersten Messergebnissen wurden als Tracerpartikel Hohlglaskugeln mit einem Durchmesser von 10 μm verwendet. Diese wurden in deionisiertem Wasser dispergiert.