1.1.1 MEMS Inertialsensoren für innovative Applikationen in der Medizintechnik
- Event
- 16. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2012
2012-05-22 - 2012-05-23
Nürnberg, Germany - Chapter
- 1.1 Mechanische Sensoren: MEMS-Sensoren
- Author(s)
- M. Füldner - Analog Devices GmbH, München
- Pages
- 17 - 28
- DOI
- 10.5162/sensoren2012/1.1.1
- ISBN
- 978-3-9813484-0-8
- Price
- free
Abstract
Inertialsensoren wie Beschleunigungssensoren und Drehratensensoren auf Basis der MEMS-Technologie haben sich milliardenfach in Anwendungen der Automobiltechnik (Airbag-Auslösung, Fahrdynamikregelung), im Konsumgüterbereich (Smartphones, Spielkonsolen) und der Industrieautomation (Navigation, Maschinenüberwachung) bewährt. Durch die stetige Verbesserung der Leistungsmerkmale hinsichtlich Genauigkeit, Robustheit, Bauteilgröße, integrierter Funktionen und Leistungsaufnahme ermöglichen MEMS Inertialsensoren zahlreiche neue innovative Anwendungen in der Medizintechnik. Während bisher MEMS Sensoren in der Medizintechnik hauptsächlich unter dem Schlagwort „Bio-MEMS“ als elektrochemische Mikro-Analysesysteme („Lab-On-Chip“) fungieren, liefern MEMS Inertialsensoren präzise Informationen über die Beschleunigung, Geschwindigkeit, Position, Neigung, Vibration, Drehbewegung oder Orientierung von medizinischen Geräten.
Dieser Artikel liefert zunächst einen kurzen Einblick in verschiedene MEMS-Technologien und wie diese für anwendungsoptimierte und leistungsfähige Inertialsensoren eingesetzt werden. Ausgehend vom Funktionsprinzip von MEMS Beschleunigungs- bzw. Drehratensensoren werden anhand von typischen Leistungsanforderungen verschiedener Applikationsbereiche sowohl bereits im Einsatz befindliche Systeme als auch mögliche zukünftige Anwendungen in der Medizintechnik diskutiert.