1.4.1 Spektral abstimmbare IR-Sensoren für die industrielle Prozessmesstechnik und die medizinische Gasanalyse
- Event
- 16. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2012
2012-05-22 - 2012-05-23
Nürnberg, Germany - Chapter
- 1.4 Optische Sensorik
- Author(s)
- M. Ebermann, N. Neumann - InfraTec GmbH, Dresden
- Pages
- 114 - 125
- DOI
- 10.5162/sensoren2012/1.4.1
- ISBN
- 978-3-9813484-0-8
- Price
- free
Abstract
Mikrospektrometer besitzen ein großes Potenzial in der IR-Absorptionsspektroskopie, insbesondere für die Mehrkomponentenanalyse. Im Beitrag werden durchstimmbare IR-Detektoren für Spektralbereiche im mittleren und langwelligen Infrarot vorgestellt, welche auf spektral breitbandigen pyroelektrischen Detektoren und mikromechanischen Fabry-Pérot-Filtern als wellenlängenselektives Element basieren. Eine spezielle Dual-Band-Konfiguration ist für die simultane Detektion in zwei Spektralbereichen geeignet. Durch Verbesserungen des elektromechanischen Designs ist es außerdem gelungen, die Beschleunigungsempfindlichkeit der Filter signifikant zu reduzieren. Es wird kurz auf den Aufbau eines Mikrospektrometers und möglicher Betriebsweisen der Detektoren eingegangen um anschließend einige ausgewählte Beispielapplikationen aus der medizinischen und industriellen Analytik vorzustellen. Abschließend wird ein Ausblick auf eine neue Generation höher auflösender und schnellerer FPSpektrometer gegeben.