8.4 - Si-kompatible Schottky SWIR-Detektortechnologie für Anwendungen in der Gassensorik
- Event
- iCCC2024 - iCampµs Cottbus Conference
2024-05-14 - 2024-05-16
Cottbus - Band
- Vorträge
- Chapter
- Material-& Prozesstechnologien
- Author(s)
- L. Augel, H. Wen, J. Knobbe - Fraunhofer IPMS, Dresden
- Pages
- 116 - 118
- DOI
- 10.5162/iCCC2024/8.4
- ISBN
- 978-3-910600-00-3
- Price
- free
Abstract
Die nahinfrarote Absorptionsspektroskopie erlaubt die Unterscheidung verschiedenster Gase und Gas-konzentrationen. Die in diesem Wellenlängenbereich typischerweise verwendeten III-V-Detektoren sind in ihren Herstellungsverfahren nicht kompatibel zu Si-basierter Technologie. Schottky-Photodetektoren ermöglichen auch im Wellenlängenbereich ab einem Mikrometer die Detektion von Strahlung bei tech-nologischer Kompatibilität. Das Projekt adressiert die technologischen Herausforderungen durch nano-photonische Strukturen und ein TiN-Schichtsysteme.