F12 - Laminiertes Zinndioxid - Restrukturierte FSP Schichten für Sensoranwendungen
- Event
- 11. Dresdner Sensor-Symposium 2013
2013-12-09 - 2013-12-11
Dreikönigskirche - Haus der Kirche Dresden - Chapter
- 6. Neuartige Sensormaterialien und –technologien
- Author(s)
- J. Kemmler, U. Weimar - Universität Tübingen/D, S. Schopf, L. Mädler - Universität Bremen/D, N. Barsan
- Pages
- 355 - 359
- DOI
- 10.5162/11dss2013/F12
- ISBN
- 978-3-9813484-5-3
- Price
- free
Abstract
Die Sensormaterialherstellung kann eine sehr langwierige Angelegenheit darstellen. Um die bei der Herstellung einhergehenden Probleme zu umgehen und Sensormaterialien möglichst schnell her zu stellen wird hier die Flammensprühpyrolyse genutzt. Mittels dieser Synthesemethode erhält man sehr schnell hochporöse Schichten von Metalloxiden. Diese Schichten weißen Porositäten von bis zu 98% auf und sind mechanisch sehr instabil. Hier zeigen wir die Auswirkungen der Restrukturierung der Oberfläche durch Laminierung in Bezug auf den Grundwiderstand des Sensors und die sensorischen Eigenschaften der Schichten in Abhängigkeit vom gewählten Laminierdruck und von Oberflächendotierung durch 0.1%-wt Palladium.