F15 - Chemische Sensoren mit Bariumstrontiumtitanat als funktionale Schicht zur Multiparameterdetektion
- Event
- 11. Dresdner Sensor-Symposium 2013
2013-12-09 - 2013-12-11
Dreikönigskirche - Haus der Kirche Dresden - Chapter
- 6. Neuartige Sensormaterialien und –technologien
- Author(s)
- C. Huck, A. Poghossian, M. Bäcker - FH Aachen, Jülich/D, W. Zander, J. Schubert - Forschungszentrum Jülich/D, L. Sukoyan, V. Begoyan, V. Buniatyan - State Engineering University of Armenia, Yerevan/ARM, P. Wagner - Universiteit Hasselt, Diepenbeek/B, M. Schöning - FH Aachen, Jülich/D
- Pages
- 368 - 372
- DOI
- 10.5162/11dss2013/F15
- ISBN
- 978-3-9813484-5-3
- Price
- free
Abstract
Die herausragenden multifunktionalen Materialeigenschaften und die große Vielfalt in der stöchiometrischen Zusammensetzung von Perowskit-Oxiden wie beispielsweise Bariumstrontiumtitanat (BST) haben großes Interesse bei der Herstellung von Chemo- und Biosensoren für Flüssigkeiten geweckt. In diesem Beitrag werden BST-Dünnfilme als funktionale Schicht für die Multiparameterbestimmung von pH-Wert, Elektrolytleitfähigkeit sowie für die Detektion von geladenen Makromolekülen verwendet. Zur pH-Wertmessung wurde ein kapazitiver Feldeffektsensor mit einer BST-Schicht als alternativem Gatematerial, zur Messung der Elektrolytleitfähigkeit und zur Detektion von geladenen Makromolekülen
wurden Platin-Interdigitalelektroden (IDE) mit einer BST-Schicht als Isolatormaterial und funktionale Schicht verwendet. Die BST-Schichten wurden mittels gepulster Laserdeposition (PLD) auf die jeweiligen Sensorstrukturen abgeschieden.